Photoluminescence chracteristics of SiN_x thin film deposited by PECVD at low temperature

Kyungsu Lee ,  Eunkyeom Kim ,  Kyongmin Kim 외 9명

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .02

PECVD로 증착한 Ta₂O5 박막의 전기적 특성 Electrical Characterization of Ta₂O5 Thin Films Deposited by PECVD.

김선우 ,  김형준

한국진공학회 학술발표회초록집

1992 .07

Effect of plasma properties on characteristics of silicon nitride film deposited by PECVD process at low temperature

Jeon G. HAN ,  Jun S. LEE ,  Bibhuti B. SAHU 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

TiN 박막제조를 위한 PECVD 공정의 해석적 연구

안경한 ,  설용건 ,  김선효

한국진공학회 학술발표회초록집

1992 .07

ORGANIC POLYMER THIN FILMS DEPOSITED ON SILICON AND COPPER BY PECVD METHOD AND CHARACTERIZATION OF THEIR ELECTROCHEMICAL AND OPTICAL PROPERTIES

I. S. Bae ,  S. H. Cho ,  Z. T. Pa 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2003 .08

Passivation Properties of Hydrogenated Silicon Nitrides deposited by PECVD

Jae Eun Kim ,  Kyung Dong Lee ,  Yoonmook Kang 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

A study for the hybrid low-k polymer thin films by PECVD and their electrical and mechanical properties

배인섭 ,  조상진 ,  부진효

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .08

PECVD Synthesis of WS₂ for Hydrogen Evolution Catalysis

Kanade Vinit ,  Hyeong-U Kim ,  Seokjun Hong 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

PECVD 공정에 의해 제작된 SION박막 특성 분석

정재욱 ,  추성중 ,  박정호

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02

Stabilization of Real-time Thickness monitoring system in PECVD chamber

이철 ,  황혜주 ,  박상호 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .08

PECVD BPSG Film 형성 및 Flow 특성

심승술 ,  임국진

한국진공학회 학술발표회초록집

1992 .07

Study on Synthesis and Analysis of Organic-Inorganic Hybrid polymer Thin films by PECVD for Low-k materials

S.-J. Cho ,  I.-S. bae ,  J.-H. Boo

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .02

Diethylzinc를 사용하여 PECVD로 증착한 ZnO 박막의 미세 구조 분석

김영진 ,  김형준

한국결정학회지

1993 .01

Silicon Thin-film Solar Cell Deposited by Using High Working Pressure Plasma-enhanced Chemical Vapor Deposition System

권정대 ,  남기석 ,  김동호

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

Chemical Bonding Structures of Low-k SiOCH films with HMDSO and O₂ precursors deposited by PECVD

Seung Hyun Kim ,  R. Navamathavan ,  Doo Chul Kim 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .02

PECVD를 이용한 결정질 태양전지 표면 반사방지막의 최적화

이경동 ,  김영도 ,  박성은 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

Characterization of In-Situ Film Thickness and Chamber Condition of Low-K PECVD Process with Impedance Analysis

Daekyoung Kim ,  Haegyu Jang ,  Yongtae Kim 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

Synthesis and Characterization of Cyclohexene Polymer Thin Films by PECVD Method.

L-S. Bae ,  C. K. Jung ,  Y. S. Pa 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2004 .08

Synthesis and Characterization of Cyclohexene Polymer Thin Films by PECVD Method

I.-S. Bae ,  C. K. Jung ,  S. J. Cho 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2005 .02

Structural and electronic properties of low dielectric constant SiOC(-H) films deposited by using PECVD from DMDMS/O₂ precursors

Chang Young Kim ,  An Soo Jung ,  R. Navamathavan 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .02