TiN 박막제조를 위한 PECVD 공정의 해석적 연구

안경한; 설용건; 김선효

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 안경한 설용건 김선효

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제3회 학술발표회논문개요집

발행연도: 1992.7

수록면: 68 - 68 (1page)

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안경한

소속기관 한국진공학회

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논문수 1 이용수 32

설용건

소속기관 한국진공학회

주요연구분야 자연과학 > 물리학

논문수 1 이용수 32

김선효

소속기관 포항공과대학교

주요연구분야 공학 > 건축공학 > 환경공학 자연과학 > 물리학

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