Si₃N₄ 기판 위에 PECVD법으로 형성한 tungsten nitride 박막의 특성

배성찬 ,  이종현 ,  최시영

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .07

PECVD법에 의한 다성분 Fe - O계 박막 제조

이은태 ,  김범진 ,  장건익

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .02

PECVD 공정에 의해 증착된 비정질 실리콘 박막의 특성에 관한 연구

이용수 ,  성호근

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .08

PECVD 공정에 의해 제작된 SION박막 특성 분석

정재욱 ,  추성중 ,  박정호

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02

PECVD 증착조건 변화에 따른 a-C:H 박막의 구조 변화

조영옥 ,  노옥환 ,  윤원주 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .02

PECVD로 성장된 a - Si₁-xCx : H 박막의 광학적 특성 연구

이상욱 ,  이호승 ,  최영순 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .02

TiN 박막제조를 위한 PECVD 공정의 해석적 연구

안경한 ,  설용건 ,  김선효

한국진공학회 학술발표회초록집

1992 .07

PECVD로 증착된 Silicon Nitride 박막의 특성연구

이중환 ,  권오준 ,  전무식 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1992 .07

산소 플라즈마 표면 처리된 이황화텅스텐 박막을 이용한 효율적 수소 발생 반응

조진일 ,  석현호 ,  우건후 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

마이크로파 플라즈마 화학기상증착법(PECVD)과 저압 화학기상증착법(LPCVD)을 이용한 실리콘 기판 위에서의 텅스텐 박막증착

김성훈 ,  송세안 ,  김성근

Applied Science and Convergence Technology

1992 .06

PECVD로 증착한 Ta₂O5 박막의 전기적 특성 Electrical Characterization of Ta₂O5 Thin Films Deposited by PECVD.

김선우 ,  김형준

한국진공학회 학술발표회초록집

1992 .07

PECVD 방법을 이용한 DLC 박막의 증착

조영옥 ,  조정민 ,  윤원주 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .07

PECVD를 통해 향상된 SiN/SiO2/ITO 다층박막의 무반사 효과에 대한 연구

최민준 ,  권세라 ,  송애란 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

Si - O - C - H 저유전율 박막의 특성 연구 Study of Low - k Si - O - C - H Thin Films

김윤해 ,  이석규 ,  김형준

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .07

RF - PECVD로 성장시킨 a - Si₁-xCx : H 박막의 증착조건에 따른 광학적 특성 분석

박문기 ,  김용탁 ,  홍병유

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .02

Electrical properties of HfO_xN_y thin films deposited by PECVD

J.-H. Pa ,  k ,  J.-S. Hyun 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2006 .02

PECVD를 이용한 2차원 이황화몰리브데넘 박막의 저온합성법 개발

김형우 ,  안치성 ,  Gi 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .02

ECR - PECVD로 증착된 a - C : H 박막의 열처리 효과

손영호 ,  정우철 ,  정재인 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2001 .02

PECVD 증착 변수와 in - situ IR cell 을 이용한 온도별 a - Si : H 의 특성 변화

강진규 ,  박영배 ,  이시우

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .02

PECVD 기법에 의해 제조된 nc-Si : H 박막의 나노 구조적 특성

심재현 ,  정수진 ,  조남희

한국결정학회지

2003 .01