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고상 확산 방법에 의한 SOI MOSFET 소자제작과 후속 열처리에 의한 동작특성 개선
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .08
저온 Poly - Si TFT 제조시 ISD(Ion Shower Doping)공정변수 및 후 열처리에 따르는 TFT(Thin Film Transister) 소자 물성변화에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .06
다결정 실리콘 박막 트랜지스터 제조공정 기술
Applied Science and Convergence Technology
1992 .02
Poly - Si TFT의 누설 전류 발생 원인 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .02
Mobility enhancement using MIC Poly-Si TFT
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
비정질 Si박막의 고상결정화 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
저온 poly - Si TFT의 제조 시 Ion shower Doping 공정 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2003 .02
a-Si TFT 제작시 RF-power 가변에 따른 전기적 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
Effect of the phosphorus and boron doped silicon P-N diode by Microwave irradiation
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
O₂ ashing 표면처리에 의한 Bio-MOSFET 소자의 특성 열화 및 후속 열처리에 의한 특성 개선
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
LDD 구조를 이용한 LTPS poly-Si TFT의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
The Electrical Characteristics of Low-Temperature Poly-Si Thin-Film Transistors by Different Crystallization Methods
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .02
투명산화물반도체 a-IGZO TFT를 이용한 인버터 소자의 제작과 그 특성분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
PECVD와 고상결정화 방법을 이용한 poly - SiGe 박막의 제조
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .02
Negative metal ion beam 증착방법을 이용한 TFT - LCD용 저온 poly - Si 박막 성장
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
Capacitorless 1T-DRAM devices using poly-Si TFT
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
대화면 / 고화질 TFT - LCD 개발을 위하여 ELA 및 SMC로 제작된 다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 화소 특성 비교
Applied Science and Convergence Technology
2001 .04
Co / Si 다층박막에서 고상확산에 의한 실리사이드 생성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1993 .02
PECVD로 증착된 a - Si : H의 고상결정화에 있어서 기판온도의 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .07
Al 도핑 및 열처리 온도에 따른 용액 공정 기반 AlZnSnO TFT의 특성 향상 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
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