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저자정보
이원백 (성균관대학교) Nguyen Van Duy (성균관대학교) 경도현 (성균관대학교) 이준신 (성균관대학교)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제36회 동계학술대회 초록집
발행연도
2009.2
수록면
163 - 163 (1page)

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