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대한건축학회 대한건축학회 학술발표대회 논문집 - 계획계 대한건축학회 창립60주년기념 학술발표대회논문집 제25권 제1호(환경 및 설비)
발행연도
2005.10
수록면
71 - 74 (4page)

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The purpose of this study was to establish a series of test methods for Industrial Cleanrooms(ICR). Standards of ICR concerning construction and maintain of severly controlled space in terms of particle number, air velocity, temperature and humidity and so on. A series of methods were suggested and performed at the real ICR which is in construction. The result of the tests showed the space control well met the standards. Also, Particle Visualization System was suggested and constructed. Performance test of this system showed that this system can work without tracer gas or fog which may contaminate the space not like other similar system and was proved to check the condition and flow of particle which is one of major concern in ICR.
#클린룸 #청정도 #성능평가 #미립자 가시화 #Cleanroom #Cleanliness #Performance Test Particle Visualization

목차

Abstract
1. 서론
2. 측정항목 및 방법의 검토
3. 실제 ICR에 대한 성능평가
4. 결론
참고문헌

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