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이용수
ABSTRACT
1. 서론
2. 이론 및 작동원리
3. 제작 공정
4. 실험방법 및 결과
5. 결론
후기
참고문헌
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MEMS에서의 마이크로 가공기술 ( Micromachining Technologies of MEMS )
대한기계학회지
1993 .06
MEMS 기술의 센서 응용
대한설비공학회 강연회 및 기타간행물
2001 .11
농작업용 기계의 자세정보 획득을 위한 MEMS 각도 센서
제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집
2020 .07
MEMS 센서 기반 고정밀 기울기 모니터링 시스템 설계
한국정보통신학회논문지
2019 .11
의료에서의 센서와 MEMS 기술 응용
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1997 .10
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2004 .11
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한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
1999 .11
기계분야 : ″NANO기술 지향형 마이크로 시스템(MEMS) 및 제작기술 (Micromachining)″
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An Availability of Low Cost Sensors for Machine Fault Diagnosis
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2012 .10
설비관리용 MEMS센서 및 Smart 센서 기술
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2008 .03
MEMS 센서를 이용한 화상 안정화 시스템
제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집
2005 .10
MEMS 기술
기계저널
2007 .05
MEMS 센서 플랫폼의 열 피로에 대한 신뢰성 평가
대한기계학회 춘추학술대회
2017 .05
자동차에서의 MEMS 센서의 활용
한국자동차공학회 Symposium
2003 .05
철도구조물의 안전관리를 위한 MEMS센서의 온도변화에 따른 변위 계측
한국철도학회 학술발표대회논문집
2019 .11
마이크로머시닝 기술과 MEMS 광스위치 응용
소성·가공
2002 .04
Demonstration of Robust Micromachined Jet Technology and Its Application to Realistic Flow Control Problems
Journal of Mechanical Science and Technology
2006 .04
Micromachining 기술을 이용한 초소형 자기공명센서 구조 연구
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
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