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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2007년도 춘계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2007.5
수록면
2,234 - 2,238 (5page)

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A Contact-type Linear Encoder-like Capacitive Displacement Sensor (CLECDiS) has been developed to measure displacements at high accuracy within a long measurement range. In this paper, we have worked on improving the performance and reliability of the sensor. The performance increase can be done by introducing the smaller electrode patterns of 4㎛ width. In order to improve the reliability of the sensor we have changed the electrode layers from chrome-gold to chrome-gold-chrome and re-design its supporting structure. The newly-designed sensor is fabricated and tested to show that its sensitivity is 35pF/㎛, which implies that its resolution may be 0.36㎚ if SNR (Signal-to-Noise-Ratio) is 80.1㏈. It is about ten times of that (3.14pF/㎛) of its previous version with 10㎛ electrodes. The total measurement range remains the same as the previous one; 15㎜. The calibration experiments show its improved performance and reliability.
#Capacitive Sensor(전기용량형 센서) #Contact-type(접촉식) #Displacement Sensor(변위센서) #Nano Sensor(나노 센서)

목차

Abstract
1. 서론
2. 설계 및 제작
3. 실험 및 결과
4. 결론
후기
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