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자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국센서학회 센서학회지 센서학회지 제14권 제4호
발행연도
2005.1
수록면
219 - 224 (6page)

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In this paper, a contact-type linear encoder-like capacitive displacement sensor (CLECDS) is proposed. It is based on the linear encoder capacitive displacement sensor that consists of two substrates with a series of conducting grating in identical size and it is used as a contact sensor of which the two substrates assembled faced to each other after coated with thin dielectric film. It was confirmed that the prototype of this sensor has resolution of about 126nm and measuring range of 20 mm in the test.
#contact-type #linear encoder-like #capacitive displacement sensor

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/ 1981. / Capacitive transducer for accurate displacement control im-30 (2) : 114 ~ 123 google schola / 1989. / Field and wave electromagnetics pp. 121-124 google schola / 1991. / A simple capacitive displacement Sensor : 25 ~ 27265269 google schola / 1993. / A long-range capacitive displacement sensor having micrometre resolution : 801 ~ 807 google schola / 1996 / 물리센서 : 변위측정용 LVDT의 개선에 관한 연구 : 1 ~ 8 google schola

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