지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2010.1
- 수록면
- 317 - 322 (6page)
이용수
초록· 키워드
오류제보하기
This paper reports the fabrication and characterization of surface micromachined poly 3C-SiC capacitive pressure sensors on silicon wafer operable in touch mode and normal mode for high temperature applications. FEM(finite elements method) simulation has been performed to verify the analytical mode. The sensing capacitor of the capacitive pressure sensor is composed of the upper metal and the poly 3C-SiC layer. Measurements have been performed in a temperature range from 25℃ to 500℃. Fabrication process of designed poly 3C-SiC touch mode capacitive pressure sensor was optimized and would be applicable to capacitive pressure sensors that are required high precision and sensitivity at high pressure and temperature.
목차
등록된 정보가 없습니다.
참고문헌 (10)
참고문헌 신청
C. H. Wu / 2006 / Fabrication and testing of bulk micro- machined silicon carbide piezoresistive pressure sensors for high temperature applications / IEEE Sensors J., 6 (2)
J. Summinto / 1987 / Silicon diaphragm capacitive sensor for pressure, flow, acceleration, altitude measurements / Proc. 5th Int. Conf. On Solid-State Sensors and Actuators
K. Kasten / 2000 / CMOS-compatible capacitive high temperature pressure sensors / Sensors and Actuators A 85 : 147 ~
M. Meheregany / 1998 / Silicon carbide MEMS for harsh environments / Proceeding of the IEEE : 1594 ~
M.-X. Zhou / 2005 / Modeling, design and fabrication of a triple-layered capacitive pressure sensor / Sensors and Actuators A 117 : 71 ~
J. Summinto / 1987 / Silicon diaphragm capacitive sensor for pressure, flow, acceleration, altitude measurements / Proc. 5th Int. Conf. On Solid-State Sensors and Actuators
K. Kasten / 2000 / CMOS-compatible capacitive high temperature pressure sensors / Sensors and Actuators A 85 : 147 ~
M. Meheregany / 1998 / Silicon carbide MEMS for harsh environments / Proceeding of the IEEE : 1594 ~
M.-X. Zhou / 2005 / Modeling, design and fabrication of a triple-layered capacitive pressure sensor / Sensors and Actuators A 117 : 71 ~
함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
TPMS 적용을 위한 가변 정전 용량형 압력센서 개발
센서학회지
2005 .01
-
비선형성의 개선을 위한 Capacitive pressure sensor의 Touch mode 방식에 대한 유한요소 해석
대한전기학회 학술대회 논문집
2004 .07
-
정전용량 센서의 수분 영향성 회피 방법 연구
한국자동차공학회 춘계학술대회
2016 .05
-
상대압 용량성 압력센서의 제작 ( Fabrication of Relative-type Capacitive Pressure Sensor )
전자공학회논문지-A
1993 .07
-
용량형 압력 센서의 설계 및 특성해석에 대한 기초적 연구
반도체디스플레이기술학회지
2015 .01
-
Design of Capacitive Sensor for Concentration Measurement
제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집
2006 .10
-
OPTIMAL STRUCTURE OF A CAPACITIVE SILICON MICRO PRESSURE SENSOR
한국소음진동공학회 국제학술발표논문집
1994 .01
-
극한환경용 정전용량형 SiC 압력센서의 설계 및 제작
대한전자공학회 학술대회
2017 .06
-
용량성 압력센서의 집적화에 관한 연구 ( Study on Integrated for Capacitive Pressure Sensor )
전자공학회논문지-T
1998 .06
-
Improvement of the Linearity of Capacitive Pressure Sensor Using a Novel Electrode Structure
대한전자공학회 학술대회
1996 .01
-
Multi-Channel Capacitive Readout IC for MEMS Inertial Sensors
대한전자공학회 ISOCC
2008 .11
-
집중 소자를 이용한 표면 탄성파 장치 기반의 용량 성 센서 보정 및 이를 이용한 초정밀 간극 측정
정보저장시스템학회논문집
2012 .01
-
A High Resolution and Long Range MEMS Capacitive Displacement Sensor for Precision Scanning Stage
ITC-CSCC :International Technical Conference on Circuits Systems, Computers and Communications
2005 .07
-
나노 스테이지와 볼나사 스테이지에서 커패시티브 센서 실험에 관한 연구
한국기계기술학회지
2018 .01
-
용량성 압력센서의 용량검출회로 설계 ( Design of An Interface Circuits for A Capacitive Pressure Sensor )
대한전자공학회 학술대회
1990 .07
-
높은 동적영역을 갖기 위한 정전용량형 센서의 최적화
센서학회지
2010 .01
-
표면탄성파 기반의 무전원 구동방식 타이어 압력 센서
한국자동차공학회 추계학술대회 및 전시회
2009 .11
-
에어컨 냉매압 측정용 정전용량형 압력센서 소자의 전기적 특성 연구
센서학회지
2015 .01
-
Small Capacitance Measuring Circuit For Capacitive Sensors
제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집
2003 .10
-
유한요소해석 프로그램을 이용한 정전용량형 압력센서의 검증
대한전기학회 학술대회 논문집
2015 .07
이 논문의 저자 정보
최근 본 자료
댓글(0)
0