Improvement of the Linearity of Capacitive Pressure Sensor Using a Novel Electrode Structure

정용권; 김현철; 전국진

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 정용권 김현철 전국진

저널정보: 대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 대한전자공학회 학술대회 논문집 (한국반도체 대한전자공학회 학술대회 논문집) 제3권

발행연도: 1996.1

수록면: 473 - 474 (2page)

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