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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
박창용 (금오공과대학교 기계시스템공학과) 권현규 (금오공과대학교 기계시스템공학과) 조지준 (금오공과대학교 기계시스템공학과)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 반도체디스플레이기술학회지 반도체디스플레이기술학회지 제14권 제2호
발행연도
2015.1
수록면
1 - 7 (7page)

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In this paper, a new capacitive pressure sensor has been proposed for a displacement measurement. The new sensor is mainly composed of a gap of $5{\mu}m$ and a notch of $1{\mu}m$. And the sensor has the performance as the high sensitivity and capacitance compared with a commercial capacitive sensor. Therefore, the advantages of the new capacitive pressure sensor are good sensitivity in normal range, mechanically robust and large overload protection. The analytical model is induced for confirming the performance of the proposed sensor. In addition, FEM (finite elements method) simulation has been performed to verify the analytical model. Firstly, the displacement characteristics of diaphragm membrane were simulated by the analytical model and FEM in the case of different structure and materials. At last, through this analysis, these simulation results can be predicted the change of the performance when the device parameters are varied. And it is used as a design tool to achieve at a set of performance we desired.
#Capacitive Pressure Sensor #Circular Diaphragm Modeling #FEM #Sensitivity #Notch Structure

목차

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참고문헌 (11)

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서정환 / 2010 / 표면 MEMS 기술을 이용한 고온 용량형 압력센서의 특성 / 전기전자재료학회논문지 23(4):317~322 dbpia Meng, G. / 1999 / Modelling of circular diaphragm and apreadsheet solution programming for touch mode capacitive sensors / Sensors & Actuators A 75:45~52 google schola Gong, S. C / 2001 / Analytical Solutions of Sensitivity for Pressure Microsensor / IEEE Sensors Journal 1:340~344 google schola He, F. / 2007 / A silicon directly bonded capacitive absolute pressure sensor / Sensors & Actuators A 135:507~517 google schola Timoshenko, S. / 1959 / Theory of Plates and Shells / McGraw-Hill google schola

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