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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2007년도 춘계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2007.5
수록면
2,964 - 2,969 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2007

대면적 임프린트 장비의 스테이지 정렬운동 과정에서 LCD Glass 변형에 대한 시뮬레이션 연구
송영중 ,  신동훈 ,  임홍재 외 3명 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2007.05 학술대회자료
대면적 임프린트 장비를 위한 LCD Glass 변형 시뮬레이션 연구
송영중 ,  신동훈 ,  임홍재 외 3명 대한기계학회 춘추학술대회 2007.05 학술대회자료

초록· 키워드

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The purpose of the study is to simulate the displacement of the LCD glass during process of a large size imprint. During this process, a small temperature variation makes thermal stress, which causes the horizontal variation of mold and glass. During alig㎚ent process to fix the LCD glass on a alig㎚ent stage, the vertical displacement is made by the absorption pressure and the shear stress. This study simulates the horizontal displacement of mold and glass due to temperature variation, the vertical displacement depending on the shape of absorption surface fixing the LCD glass in the alig㎚ent process, and the horizontal and vertical displacement which occurs in the LCD glass at the alig㎚ent process. Algor which is a FEM code for a framework simulation was applied. Temperature variation above ± 0.1℃ on mold and glass causes the horizontal displacement of 150㎚ due to thermal expansion. The vertical displacement due to the circular is ten times of the case of rectangular absorption nozzle. The displacement of the LCD glass in the alig㎚ent process is about 49㎚.
#Imprint #FEM(유한요소법) #Thermal expansion(열팽창) #LCD Glass #Stress concentration(응력 집중)

목차

Abstract
1. 서론
2. 해석 대상과 기법
3. 결과 및 토의
4. 결론
후기
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