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저널정보
한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2007 춘계학술대회 논문집
발행연도
2007.5
수록면
108 - 111 (4page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2007

대면적 임프린트 장비의 스테이지 정렬운동 과정에서 LCD Glass 변형에 대한 시뮬레이션 연구
송영중 ,  신동훈 ,  임홍재 외 3명 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2007.05 학술대회자료
대면적 임프린트 장비를 위한 LCD Glass 변형 시뮬레이션 연구
송영중 ,  신동훈 ,  임홍재 외 3명 대한기계학회 춘추학술대회 2007.05 학술대회자료

초록· 키워드

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The purpose of the study is to simulate the displacement of the LCD glass during process of a large size imprint. During alignment process to fix the LCD glass on a alignment stage, the vertical displacement is made by the absorption pressure and the shear stress. This study simulates the vertical displacement depending on the shape of absorption surface fixing the LCD glass in the alignment process, and the horizontal and vertical displacement which occurs in the LCD glass at the alignment process. Algor which is a FEM code for a framework simulation was applied. The vertical displacement due to the circular is ten times of the case of rectangular absorption nozzle. The displacement of the LCD glass in the alignment process is about 49㎚.
#Imprint #FEM(유한요소법) #LCD Glass #Stress concentration(응력 집중)

목차

Abstract
1. 서론
2. 해석 대상과 기법
3. 결과 및 토의
4. 결론
후기
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