마이크로 인장 시험과 띠-굽힘 시험에 의한 나노 금 박막의 인장 물성 측정

김동일; 허용학; 김동진; 기창두

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 김동일 허용학 김동진 기창두

저널정보: 대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2006년도 추계학술대회 강연 및 논문 초록집

발행연도: 2006.11

수록면: 19 - 24 (6page)

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Micro-mechanical properties of nano Au thin film were evaluated by measuring tensile deformation from micro in-plane ESPI system and micro out-of-plane ESPI system. Micro tensile test for the thin film was carried out using micro in-plane ESPI system and micro-tensile testing system for nano Au thin film, while micro strip-bending test were performed by portable out-of-plane ESPI system and strip-bend testing system. From these test techniques, micro tensile properties were measured and compared. In micro tensile testing system and strip-bend testing system, micro linear actuator with stroke resolution of 4.5㎚ and load-cell with load capacity of 500mN were used, and tensile and bending deformation were measured, applying continuous strain measurement algorithm and strip-bending theory, developed in this study, respectively. Micro tensile stress-strain curves were determined from the respective measurement of deformation and stress. These curves showed that elastic modulus determined from these respective method has a good agreement, but yielding and ultimate tensile strength are a little different.

#Tensile Properties(인장 물성) #Nano Au Thin Film(나노 금 박막) #Micro Tensile Test(마이크로 인장 시험) #Strip-Bending Test(띠-굽힘 시험)

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