Fabrication of Nano-Size Specimens for Tensile Test Employing Nano-Indentation Device

임태우; 양동열

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자료유형: 학술저널

저자정보: 임태우 (한국과학기술원) 양동열 (한국과학기술원)

저널정보: Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering Vol.32 No.10

발행연도: 2015.10

수록면: 911 - 916 (6page)

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In the nano/micro scale, material properties are dependent on the size-scale of a structure. However, conventional micro-scale tensile tests have limitations to obtain reliable values of nanoscale material properties owing to residual stress and elastic slippage in the gripping/aligning process. The indenter-driven nano-scale tensile test provides prominent advantages simple testing device, high-quality nano-scale metallic specimen with negligible residual stress. In this paper, two-types of specimens (a specimen with multi-testing parts and a specimen with a singletesting part) are discussed. Focused ion beam (FIB) is employed to fabricate a nano-scale specimen from a thin nickel film. Using the specimen with a single-testing part, we obtained a nano-scale stress-strain curve of electroplated nickel film.

#Nano-scale tensile test(나노인장시험) #Focused ion beam(집속 이온빔) #Thin film(박막)

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Cho, H. / 2003 / Measured Mechanical Properties of Liga Ni Structures / Sensors and Actuators A : Physical 103(1):59~63

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이호진 / 2014 / 투명 폴리카보네이트 판재의 고온 인장 거동에 관한 연구 / 한국정밀공학회지 31(1):21~28

Haj-Ali, R. / 2008 / Nonlinear Constitutive Models from Nanoindentation Tests Using Artificial Neural Networks / International Journal of Plasticity 24(3):371~396

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