힘센서를 이용한 나노구조체의 인장물성 측정

전상구; 장훈식; 권오헌; 남승훈

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자료유형: 학술저널

저자정보: 전상구 장훈식 권오헌 남승훈 (국표준과학연구원)

저널정보: 대한기계학회 대한기계학회 논문집 A권 대한기계학회논문집 A권 제34권 제2호

발행연도: 2010.2

수록면: 211 - 217 (7page)

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다양한 분야에 활용이 가능한 나노소자의 개발과 나노소자의 수명 및 신뢰성을 결정하기 위해서 나노구조체의 역학물성 측정은 중요하다. 본 연구에서는 다중벽탄소나노튜브(MWCNT)와 산화아연나노막대(ZnO nanorod)의 인장시험을 전자주사현미경(SEM) 내부에서 수행하였다. 챔버내부에 구축된 나노조작기 앞에 힘센서가 장착되었고, 나노조작기는 조이스틱과 컴퓨터로 제어 가능하도록 설계되었다. 반으로 자른 투과전자현미경(TEM)그리드 위에 분산된 나노구조체는 전자주사를 통하여 힘센서와 고정된 후 인장시험이 수행되었다. 인장시험 후 TEM과 SEM을 통하여 파단면을 측정하였고 MWCNT와 ZnO nanorod의 탄성계수는 0.98TPa, 55.85㎬로 각각 측정되었다.

#Nanostructure(나노구조체) #Multi-walled Carbon Nanotube(다중벽탄소나노튜브) #ZnO Nanorod(산화아연나노막대) #Force Sensor(힘센서)

참고문헌 (24)

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1. [학술지(정기간행물)] - Terrones, M / 2003 / Science and Technology of the Twenty-First Century: Synthesis, Properties, and Applications of Carbon Nanotubes / Annu. Rev. Mater. Res. 33 : 419 ~ 501

2. [학술지(정기간행물)] - Xu, N. S / 2005 / Novel Cold Cathode Materials and Application / Mater. Sci. and Eng. R. 48 : 47 ~ 189

3. [학술지(정기간행물)] - SEONG CHU LIM / 2007 / FIELD EMISSION AND APPLICATION OF CARBON NANOTUBES / NANO 2 (2) : 69 ~ 89

4. [학술지(정기간행물)] - Choi, J. H / 2005 / Optimization of Electron Beam Focusing forGated Carbon Nanotube Field Emitter Arrays / IEEE Trans. Elec. Dev. 52 (12) : 2584 ~ 2590

5. [학술지(정기간행물)] - Lee, S / 2006 / Effect of Degassed Elements on the Degradation Behavior of Carbon Nanotube Cathode in Sealed Field Emission- Backlight Unit / Appl. Phys. Lett. 88 (6) : 063502 ~

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