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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 저널정보
- Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 제21권 제6호
- 발행연도
- 2004.6
- 수록면
- 145 - 152 (8page)
이용수
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Depth-sensing indentation is widely used for evaluation of mechanical properties of thin films. It is generally accepted that the most significant source of uncertainty in nanoindentation measurement is the geometry of the indenter tip. Therefore the successful application of the technique requires accurate calibration of the indenter tip geometry. The direct measurement of geometry of a Berkovich indenter was determined using a atomic force microscope. The indentation geometrical calibration of contact area was performed by analyzing the indenter tip profile. The equations of area functions were proposed for nanoscale thin films.
목차
ABSTRACT
1. 서론
2. 이론적 배경
3. 인덴터 팁의 측정
4. 면접함수의 결정
5. 결과 및 고찰
6. 결론
후기
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