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Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 제21권 제12호
발행연도
2004.12
수록면
13 - 20 (8page)

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Manufacturing process for the micro fluidic device can include such sequential steps as master fabrication, electroforming, and injection molding. The laser ablation using masks has been applied to the fabrication of channels in micro fluidic devices. In this study, manufacturing of polymer master and mold insert for micro injection molding was investigated. Ablation of PET (polyethylene terephthalate) by the excimer laser radiation could be used successfully to make three dimensional master for nickel mold insert. The mechanism for ablative decomposition of PET with KrF excimer laser (λ: 248 ㎚, pulse duration: 5 ㎱) was explained by photochemical process, while ablation mechanism of PMMA (polymethyl methacrylate) is dominated by photothermal process, the reaction between PC (polycarbonate) and KrF excimer laser beam generate too much surface debris. Thus, PET was adopted in polymer master for nickel mold insert. Nickel electro forming using laser ablated PET master was preferable for replication method. Finally, it was shown that excimer laser ablation can substitute for X-ray lithography of LIGA process in micro structuring.
#Excimer laser(엑시머레이저) #Ablation(어블레이션) #PET (polyethylene terephthalate) #Photochemical process(광화학반응) #Photothermal process(광열반응) #Mask projection(마스크전사기법) #Electroforming(전주도금) #Micro-mold insert(마이크로 금형)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 실험방법
3. 실험결과 및 고찰
4. 결론
참고문헌

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