Wafer prober의 자동화를 위한 영상신호처리 소프트웨어 ( The image processing software for the automatic control of wafer prober )

장윤영 ,  최인규 ,  서용규 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

반도체 웨이퍼의 온도 측정에 관한 연구

이욱현 ,  조종표 ,  정학근 외 2명

대한설비공학회 학술발표대회논문집

2015 .06

리눅스 기반 임베디드 시스템의 전력소모 분석을 위한 소프트웨어 프로버 설계

남영진 ,  신동석 ,  백장운 외 1명

정보과학회논문지 : 컴퓨팅의 실제 및 레터

2008 .10

웨이퍼 프로버 척의 저온 온도균일도 향상에 관한 연구

주영철 ,  신휘철 ,  강명구

한국산학기술학회 논문지

2009 .10

정밀 이송테이블의 오차 모델링에 관한 연구

박천홍 ,  오정석 ,  김경호

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2010 .05

웨이퍼 클리닝 장비의 웨이퍼 위치 오차 검출 시스템

이정우 ,  이병국 ,  이준재

한국멀티미디어학회 학술발표논문집

2008 .05

웨이퍼 배치 구조를 갖는 CVD 챔버 내부의 유동 분석

강승환 ,  이재원 ,  고한서

대한기계학회 논문집 B권

2018 .01

웨이퍼 클리닝 장비의 웨이퍼 장착 위치 인식 시스템

이정우 ,  이병국 ,  이준재

멀티미디어학회논문지

2010 .03

웨이퍼 접합 방법을 이용한 SOI 웨이퍼 제작

강성건 ,  서광 ,  김흥락 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

공기 부상바식 이송시스템의 추진 노즐 배치방법에 따른 웨이퍼 이송 속도 평가

문인호 ,  김동권 ,  조상준 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2005 .05

슬러지의 이송

조광명

수도

1988 .01

공기부상 웨이퍼 낱장이송 시스템의 부상 및 이송특성

문인호 ,  조상준 ,  김동권 외 2명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2004 .01

정밀 이송테이블의 위치결정오차 예측

김경호 ,  Pham Van Dinh ,  오정석 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2011 .10

입력성형을 통한 웨이퍼 이송장치의 잔류진동 감쇠

임재철 ,  안태길 ,  조중근

한국소음진동공학회 학술대회논문집

2005 .11

반도체 웨이퍼의 스트레스 측정을 위한 공정 및 표면 검사시스템 구현

조태익 ,  오도창

전자공학회논문지-SD

2008 .08

Uncertainty Evaluation of Optical Wafer Thickness Measurements

C.-S. Kang ,  A. P. D ,  ija 외 4명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .05

웨이퍼 캐리어 내부 유동 최적화 연구

변순석 ,  김윤제

대한기계학회 춘추학술대회

2011 .11

공기 부상방식 이송시스템의 추진 노즐 배치방법에 따른 웨이퍼 이송 속도 평가

문인호 ,  황영규

대한기계학회 논문집 B권

2006 .04

웨이퍼두께 표준 개발

김재완 ,  엄태봉 ,  김종안 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2014 .10

노치형 웨이퍼 정렬기 개발에 관한 연구

나원식

한국항행학회논문지

2009 .01