집속이온빔을 이용한 나노 패턴 형성

한진 ,  민병권 ,  이상조 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2005 .06

집속이온빔(FIB)로 가공된 10마이크로미터 급의 마이크로 밀링 툴의 제작

김충수 ,  추원식 ,  안성훈 외 7명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2008 .06

집속 이온빔 기술

윤관호 ,  노준석

기계저널

2017 .01

집속 이온빔 (FIB) 기술 및 응용

이종현 ,  배남진 ,  강봉구 외 1명

[ETRI] 전자통신동향분석

1987 .09

이온빔 기술 리뷰

이태호

한국추진공학회 학술대회논문집

2011 .11

집속이온빔과 집속전자빔을 이용한 나노 구조물의 증착

김흥배

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2011 .10

마이크로-나노 가공을 위한 집속이온빔 공정 시뮬레이션

이희원 ,  한진 ,  민병권 외 1명

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2008 .03

집속이온빔 밀링 공정을 이용한 나노패턴 가공의 높이 예측

한진 ,  이희원 ,  민병권 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2008 .06

집속이온빔(Focused Ion Beam)을 이용한 3차원 나노가공

박철우 ,  이종항

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2004 .05

미세구조물 제작을 위한 집속이온빔 증착공정의 3차원 시뮬레이션

한진 ,  이희원 ,  민병권 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2008 .11

집속이온빔을 이용한 나노가공시스템 개발

박철우 ,  이종항 ,  최진형 외 2명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2006 .05

집속이온빔을 이용한 미세구조물 가공의 형상정밀도 향상

김경석 ,  정재원 ,  민병권 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2005 .06

유도결합형 플라즈마 소스를 이용한 집속 이온빔용 가스 이온원 개발

이승훈 ,  김도근 ,  강재욱 외 3명

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2011 .01

집속이온빔-화학기상증착법을 이용한 다종 나노구조 제작 및 평가

이강인 ,  이현택 ,  김민수 외 1명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2017 .12

이온빔 조사 경로에 따른 집속이온빔 가공공정의 효율평가

김충수 ,  안성훈 ,  이길용 외 4명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2011 .06

집속이온빔을 이용한 실리콘 나노 패터닝 : 시뮬레이션과 가공

한진 ,  민병권 ,  이상조

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2006 .05

집속이온빔 (FIB) 레지스트를 위한 비정질 Se₇₅Ge₂₅ 박막의 이온 및 광유기특성

이현용 ,  박태성 ,  김종빈 외 6명

대한전기학회 학술대회 논문집

1992 .07

집속이온빔의 공정조건이 실리콘 가공에 미치는 영향

김준현 ,  송춘삼 ,  김주현 외 2명

한국생산제조학회지

2007 .04

단면 가공용 이온 밀링 장치의 이온 빔 크기 측정 방법 연구

원종한 ,  박만진 ,  장동영

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2013 .05