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학술대회자료
저자정보
이강인 (서울대학교) 이현택 (서울대학교) 김민수 (서울대학교) 안성훈 (서울대학교)
저널정보
한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2017 한국생산제조학회 추계학술대회 논문집
발행연도
2017.12
수록면
24 - 24 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2017

집속이온빔-화학기상증착법을 이용한 다종 나노구조 제작 및 평가
이강인 ,  이현택 ,  김민수 외 1명 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2017.12 학술대회자료

2016

집속이온빔 화학 증착을 위한 가스 공급기의 제작 및 평가
이강인 ,  안성훈 ,  이장엽 외 1명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2016.10 학술대회자료

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#Gas injection system #focused ion beam(FIB) #Shape memory alloy(SMA) #micro actuator

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황준필 ,  김우철 ,  김성진 대한기계학회 춘추학술대회 2023 .05
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