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대면적 가공을 위한 저전력 ECR 플라즈마 이온원 개발
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2024 .07
유도 결합 플라즈마를 이용한 Fence free Ta₂O5 박막 식각에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2021 .10
대면적 표면처리를 위한 양극층 선형 이온원 개발
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2017 .12
초미세 부품의 고속 대면적 가공과 분석을 위한 플라즈마 집속이온빔 컬럼 및 복합공정 시스템 개발
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2024 .07
Effect of Dual Radio Frequency Bias Power on SiO2 Sputter Etching in Inductively Coupled Plasma
NANO
2017 .01
집속 이온빔 기술
기계저널
2017 .01
유도 결합 플라즈마를 이용한 Plasma Enhanced PVD 공정의 수치 해석
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .11
대형 유도 결합 플라즈마 시스템의 플라즈마 수치 해석
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2016 .05
팬아웃패키징 시료의 단면관찰을 위한 이온빔을 이용한 시료제작 및 관찰
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2015 .10
아르곤/이산화탄소 혼합가스의 유도 결합 플라즈마를 이용한 이산화탄소 분해 연구
KEPCO Journal on electric power and energy
2015 .01
SEM 단면 시료 제작을 위한 플라즈마 이온원의 구조
한국생산제조학회지
2015 .08
Aspect ratio에 따른 Inductively coupled Plasma 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2018 .10
Aspect ratio에 따른 Inductively coupled Plasma 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2019 .07
유도 결합 플라즈마 이온 주입 장치 구조 열 전달 해석
대한설비공학회 학술발표대회논문집
2021 .11
집속이온빔 이온조사를 이용한 PMMA 쉘 구조제작
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .05
유도결합 및 초고주파 하이브리드 플라즈마 발생장치에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2020 .07
집속이온빔-화학기상증착법을 이용한 다종 나노구조 제작 및 평가
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2017 .12
집속이온빔(FIB)를 이용한 마이크로 바이오 복합재의 실시간 물성 측정
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .12
비행시간형 이차이온질량분석(Time of Flight Secondary Ion Mass Spectrometry: TOF-SIMS) 장비를 위한 다양한 액체금속 이온원 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .05
고진공에서의 Inductively Coupled Plasma 특성 진단
대한전기학회 학술대회 논문집
2020 .07
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