전처리 조건에 따른 화학 기상 증착법에 의한 다이아몬드 필름 증착 거동

송창원; 송풍근

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 송창원 (부산대학교) 송풍근 (부산대학교)

저널정보: 한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2020년도 한국표면공학회 추계학술대회

발행연도: 2020.12

수록면: 113 - 113 (1page)

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