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김동빈 (한국표준과학연구원) 김태완 (한국표준과학연구원) 김용성 (한국표준과학연구원) 박근오 (테스) 임성규 (나노종합기술원) 김태성 (성균관대학교) 강상우 (한국표준과학연구원)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 열공학부문 2017년도 학술대회
발행연도
2017.5
수록면
323 - 325 (3page)

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2017

플라즈마 기상 증착법을 이용한 비정질 탄화 실리콘 막 증착 중 발생 입자 및 박막 특성 분석
김동빈 ,  김태완 ,  김용성 외 4명 대한기계학회 춘추학술대회 2017.05 학술대회자료

2016

Amorphous carbon layer 증착 중 발생하는 입자의 증착 조건별 특성 분석
김동빈 ,  정원준 ,  문지훈 외 5명 한국진공학회 학술발표회초록집 2016.02 학술대회자료

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