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Plasma deposited silicon thin films for next generation photovoltaics
한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집
2015 .06
플라즈마 화학기상증착법을 이용한 투과형 실리콘 박막 태양전지 제조특성
한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집
2017 .09
고효율 TOPCon 태양전지의 SiOX/poly-Si박막 형성 기법과 passivating contact 특성
신·재생에너지
2022 .03
플라즈마 기상 증착법을 이용한 비정질 탄화 실리콘 막 증착 중 발생 입자 및 박막 특성 분석
대한기계학회 춘추학술대회
2017 .05
Characteristics of Silicon Nitride Deposited by Very High Frequency (162 MHz) -Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition using Floating Multi Electrode
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2021 .12
다공성 금속 샤워헤드가 적용된 상압플라즈마 화학기상증착법을 이용한 저온 다결정 실리콘 증착 공정
전기전자재료학회논문지
2020 .01
Fe3O4 박막의 증착 속도에 따른 광학적 특성 변화
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2015 .04
ZnO:B의 전기, 광학적 물성 변화에 따른 나노결정질 실리콘 박막 태양전지의 영향
한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집
2016 .05
Surface Chemistry Modification for Developing Atomic Layer Deposition Process for the 2D Material and Thin Film Deposition on 2D Materials
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .11
BaNb₂O6:Eu3+ 박막의 특성에 증착 온도가 미치는 효과
한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집
2015 .06
가스 유량과 RF Power에 따라 PECVD 방법으로 증착된 DLC 박막의 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .06
PECVD 증착 조건에 따른 실리콘 질화물 박막의 기계적 특성 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2022 .06
화학기상증착법으로 성장시킨 산화티타늄 박막의 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
2019 .07
Hollow cathode 플라즈마 원자층 증착법으로 증착한 ZrO₂ 박막 특성 개선
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2021 .12
R&D용 소형 원자층 증착 시스템 개발
대한기계학회 춘추학술대회
2018 .12
글로우 및 아크 플라즈마 환경에서 빗각증착에 의한 박막 제조 및 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2016 .05
유연기판 상의 고효율 박막 실리콘 태양전지 제조
한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집
2015 .06
플로팅 다중 전극을 이용한 초고주파 (162 ㎒) 플라즈마 원자층 증착에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2022 .06
LPCVD 증착온도 및 압력 조건에 따른 Tunnel Oxide Passivated Contact 구조의 특성 분석
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2021 .05
다양한 전구체의 펄스 시간에 따른 원자층 박막 증착을 통한 박막 특성 비교
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .05
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