Amorphous carbon layer 증착 중 발생하는 입자의 증착 조건별 특성 분석

김동빈; 정원준; 문지훈; 박혜지; 신재수; 김태완; 김태성; 강상우

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 김동빈 (한국표준과학연구원) 정원준 (대전대학교) 문지훈 (한국표준과학연구원) 박혜지 (한국표준과학연구원) 신재수 (대전대학교) 김태완 (한국표준과학연구원) 김태성 (성균관대학교) 강상우 (한국표준과학연구원)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 제50회 한국진공학회 동계정기학술대회 초록집

발행연도: 2016.2

수록면: 118 - 118 (1page)

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연구결과

이 논문의 연구 히스토리 (2)

2017

플라즈마 기상 증착법을 이용한 비정질 탄화 실리콘 막 증착 중 발생 입자 및 박막 특성 분석

김동빈 , 김태완 , 김용성 외 4명 대한기계학회 춘추학술대회 2017.05 학술대회자료

2016

Amorphous carbon layer 증착 중 발생하는 입자의 증착 조건별 특성 분석

김동빈 , 정원준 , 문지훈 외 5명 한국진공학회 학술발표회초록집 2016.02 학술대회자료

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Dongbin Kim

소속기관 Korea Research Institute of Standards and Science

주요연구분야 자연과학 > 물리학 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 22 이용수 1,067

정원준

소속기관 대전대학교

주요연구분야 자연과학 > 물리학

논문수 4 이용수 339

문지훈

소속기관 한국표준과학연구원

주요연구분야 자연과학 > 물리학

논문수 23 이용수 1,138

박혜지

소속기관 한국표준과학연구원

주요연구분야 자연과학 > 물리학

논문수 7 이용수 249

신재수

소속기관 대전대학교

주요연구분야 자연과학 > 물리학 TOP 10%

논문수 49 이용수 2,865

김태완

소속기관 전북대학교

주요연구분야 자연과학 > 물리학 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 20 이용수 635

김태성

소속기관 성균관대학교

주요연구분야 자연과학 > 물리학 TOP 10% 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 TOP 10%

논문수 160 이용수 11,850

강상우

소속기관 한국표준과학연구원

주요연구분야 자연과학 > 물리학 TOP 5% 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 122 이용수 6,366

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