Mechanical property control using focused ion beam patterning

Ki-Hwan Jang; Hae-Sung Yoon; Eun-Seob Kim; Hyun-Taek Lee; Sung-Hoon Ahn

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저자정보: Ki-Hwan Jang (Seoul National University) Hae-Sung Yoon (Seoul National University) Eun-Seob Kim (Seoul National University) Hyun-Taek Lee (Seoul National University) Sung-Hoon Ahn (Seoul National University)

저널정보: (사)한국CDE학회 한국CDE학회 학술발표회 논문집 한국CADCAM학회 2016 동계학술대회

발행연도: 2016.1

수록면: 905 - 905 (1page)

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#Hybrid process #Spin coating #Focused ion beam #Aerodynamically focused nanoparticles printing #Micro machining #Bi-material cantilever #Mechanical property

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