전자빔 가공기의 진공제어 밸브 설계 및 특성평가

이찬홍; 이후상

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 이찬홍 이후상

저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2005년도 춘계학술대회 논문요약집

발행연도: 2005.6

수록면: 391 - 391 (1page)

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#전자빔 가공기(Electron Beam Lithography) #진공밸브(Vacuum Valve) #진공게이지(Vacuum Gauge) #진공제어(Vacuum Control)

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