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Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 韓國精密工學會 2001年度 春季學術大會 論文集
발행연도
2001.5
수록면
465 - 468 (4page)

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목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 공기정압 스테이지의 구조 및 실험장치
3. 위치결정특성
4. 결론
참고문헌

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