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학술대회자료
저자정보
김재열 (조선대학교) 정효희 (조선대학교) 곽남수 (조선대학교)
저널정보
한국트라이볼로지학회 한국트라이볼로지학회 학술대회 한국윤활학회 2007년도 제44회 춘계학술대회
발행연도
2007.6
수록면
186 - 191 (6page)

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Performance test of servo control system that is used ultra-precision positioning system with single plane X-Y stage is performed by simulation with Matlab. Analyzed for previous control algorithm and adapted for modem control theory, dual servo algorithm is developed by minimum order observer, and stability and priority on controller are secured. Through the simulation and experiments on ultra precision positioning, stability and priority on ultra-precision positioning system with single plane X-Y stage and control algorithm are secured by using Matlab with Simulink and ControlDesk made in dSPACE.
#Ultra-Precision Positioning (초정밀위치결정) #Simulation(시뮬레이션) #최소차수관측기 (Minimum order observer) #Nano Technology(나노기술)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 최적제어계 구성
3. 시뮬레이션 및 실시간 제어
4. 결론
참고문헌

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