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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 저널정보
- Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 Vol.24 No.11
- 발행연도
- 2007.11
- 수록면
- 91 - 100 (10page)
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Many manufacturing devices must execute motions as quickly as possible to achieve profitable high-volume production. Most of them have devices having flexibility and a time delay of one sampling is added to the plants when they are controlled by fast discrete controllers, which brings about non-minimum phase zeros. This paper develops a control strategy that combines feedforward and feedback control with command shaping for such devices. First, the feedback controller is designed to increase damping and eliminate steady-state error. Next, the feedforward controller is designed to speed up the transient response. Finally, an appropriate reference profile is generated using command-shaping techniques to ensure fast point-to-point motions with minimum residual vibration. The particular focus of the paper is to understand the interactions between these individual control components. The resulting control strategy is demonstrated on a model of a high-speed semiconductor manufacturing machine.
목차
ABSTRACT
1. 서론
2. 모델링
3. 명령 성형
4. 제어 전략
5. 시뮬레이션 결과
6. 결론
참고문헌
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