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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 창립 60주년 기념 추계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2005.11
수록면
2,593 - 2,598 (6page)

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Micro actuators are essential for micro electromechanical system s of movable components. Optimization of their dynamic properties is conducted using the Intellisuite. Actuator s for driving micro mirrors are classified into those using electrostatic fore e s and using thermal expansion effects. Electrostatic actuator s are designed adapting torsional springs to avoid plastic deformation during the actuation wi th large tilting angles. If externally imposed voltage s increases greater than a critical P oint, a local plastic deform ati on occurs. Thermal actuator s of length, 200 ㎛ and thickness, 2㎛, with a 40㎛ long flexure and a 15㎛ wi de col d arm deflect up to 13㎛ at the tip around 10V.
#Micro Actuators(마이크로 구동기) #Electrostatic Force(정전기력) #Thermal Expansion(열팽창) #the Intellisuite(인텔리수트)

목차

Abstract
1. 서론
2. 정전기력 미세 구동기의 설계와 해석
3. 열팽창 미세 구동기의 해석설계와 해석
4. 결론
5. 후기
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