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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2007도 추계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2007.10
수록면
17 - 21 (5page)

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Atomic force microscope (AFM) was devised to image 3-dimensional surface topography with very high resolution. It is also a promising candidate for a mechanical tester since it has highly sensitive load and displacement sensors. AFM with a conventional cantilever is suitable for surface topography, but not for indentation test for mechanical properties. The conventional AFM cantilever suffers from a parasitic motion when indenting a surface of a specimen. This parasitic motion results from the unsymmetrical geometry of the AFM cantilever and is a big obstacle to AFM-based mechanical tests, such as indentation, bending and tensile experiments. In this study, we report an advanced fabrication procedure for a symmetric AFM cantilever which can be used in indentation test without any parasitic motion. Both imaging and indenting functions of the symmetric cantilever are demonstrated by integrating the symmetric cantilever into a commercial AFM system. As an example, SU-8 thin film is prepared and its hardness and modulus are measured by indentation using the symmetric AFM cantilever.
#AFM(원자현미경) #Symmetric AFM cantilever(대칭형 AFM 캔틸레버) #Indentation test(압입 시험) #폴리머 박막(Polymeric film)

목차

Abstract
1. 서론
2. 대칭형 AFM 캔틸레버의 제작
3. 압입 시험
4. 시험 결과 및 토의
5. 요약 및 결론
후기
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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-550-016063703