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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2007도 추계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2007.10
수록면
91 - 96 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (4)

2007

연속체 가정을 통한 UV-NIL 공정의 전산모사
김승모 ,  이동언 ,  박시환 외 1명 대한기계학회 춘추학술대회 2007.10 학술대회자료
연속체 가정을 통한 NIL 공정의 전산모사
김승모 ,  이우일 대한기계학회 춘추학술대회 2007.05 학술대회자료

2006

연속체 가정을 통한 NIL 공정의 전산모사
김승모 ,  강성용 ,  이우일 대한기계학회 춘추학술대회 2006.11 학술대회자료

2005

연속체 가정을 통한 Themal-NIL 공정의 전산모사
김승모 ,  강진희 ,  강성용 외 1명 대한기계학회 춘추학술대회 2005.11 학술대회자료

초록· 키워드

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There are two approaches in NIL process according to the resin curing type, such as thermal NIL and UVNIL. Of these, in UV-NIL, the time that is needed to fill the cavity is too fast to observe with human eyes, and also the optical setup for observation is not easy. Due to these limits of experiment study, a numerical approach is needed to find the effect of parameters in UV-NIL. Through the several parametric studies, a flow tendency of each parameter is presented to understand the filling process, leading to the optimization of UVNIL process.
#Surface tension(표면장력) #Wall adhesion(벽면흡착) #Polymer(고분자) #Fixed grid(고정격자계) #Lithography(석판술)

목차

Abstract
1. 서론
2. Numerical Method
3. Results and Discussion
4. Conclusion
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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-550-016066431