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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2007.6
- 수록면
- 23 - 30 (8page)
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Nano-stages are used in many ultra-precision systems, such as scanning probe microscope(SPM), optical fiber aligners, ultra-precision cutting, measuring systems, and optical systems. It is difficult to find the solutions because the performances and characteristics of nano-scale motion stage are determined by various factors. To understand effects of nano-scale motion stage, three types of hinge structures were designed and manufactured. Each hinge structures were designed following with the results of simulation. And from the result of experiments, hysteresis, displacement, and accuracy were compared with each hinge structures.
목차
Abstract
1. 서론
2. 힌지 메커니즘
3. 힌지의 유한요소해석
4. 실험
5. 스테이지 거동 특성 결과
6. 결론
후기
참고문헌
참고문헌 (9)
참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - Elmustafa, A. A. / 2001 / Flexural- hinge guided motion nanopositioner stage for precision machining : finite element simulations / Precision Engineering 25 : 77 ~ 81
2. [학술지(정기간행물)] - Ryu, J. W. / 1997 / Optimal design of a flexure hinge based XYθ wafer stage / Precision Engineering 21 : 18 ~ 28
3. [학술지(정기간행물)] - Ryu, J. W. / 1997 / Error analysis of a flexure hinge mechanism induced by machining imperfection / Precision Engineering 21 : 83 ~ 89
4. [학술대회논문] - Gweon, G. D. / 2004 / Flexure motion Guide design / KAIST Mech. Engineering, 6th Workshop
5. [학술지(정기간행물)] - Suleman, A. / 2004 / Design and modeling of an electrostrictive inchworm actuator / Mechatronics 14 : 567 ~ 586
2. [학술지(정기간행물)] - Ryu, J. W. / 1997 / Optimal design of a flexure hinge based XYθ wafer stage / Precision Engineering 21 : 18 ~ 28
3. [학술지(정기간행물)] - Ryu, J. W. / 1997 / Error analysis of a flexure hinge mechanism induced by machining imperfection / Precision Engineering 21 : 83 ~ 89
4. [학술대회논문] - Gweon, G. D. / 2004 / Flexure motion Guide design / KAIST Mech. Engineering, 6th Workshop
5. [학술지(정기간행물)] - Suleman, A. / 2004 / Design and modeling of an electrostrictive inchworm actuator / Mechatronics 14 : 567 ~ 586
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