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저자정보
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2008년도 추계학술대회
발행연도
2008.11
수록면
844 - 849 (6page)

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A nano-imprinting stage has been widely used in various fields of nano-technology. In this study, A 4-axis nano-imprinting stage is modeled with using the 3D-CAD Tool. Structural components such as an upper-plate, bearings and cross-roller-guides are modeled with finite elements to analyze flexibility effect during the precision stage motion. In addition, Dynamic analysis is executed to reproduce actual motion of 4-axis nano imprinting stage.
#Nano Imprinting Stage(나노 임프린팅 스테이지) #4-axis Stage(4축 스테이지) #CAE(컴퓨터 응용공학) #Flexible Multi-body Dynamics(유연다물체동역학)

목차

Abstract
1. 서론
2. 스테이지의 구동 원리
3. 스테이지 장비 전산 모델링
4. 결론
후기
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