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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2006.5
- 수록면
- 28 - 33 (6page)
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In micro pattern machining on large surface such as LCD (Liquid Crystal Display) product, a workpiece setup is a difficult task because a high stiffness is required for a setup device of a heavy and large workpiece. Because micro pattern machining on the large surface is a process taking a few days to be completed, a workpiece setup device must be stiff enough.
Also a workpiece set up must be satisfied with sub-micron position accuracy.
So stiffness of a setup device and precise positioning control are important in this process.
Also a workpiece setup in micro pattern machining is very important process because of flatness of the mold surface directly effect on final injection molding product.
In this study, a new type of a 3-DOF (Z-translation, Pitch, Roll motion) precise tilt stage for a heavy load and large surface workpiece setup has been developed. It uses Piezo actuators and flexible guides to make precision motion.
A modeling of the tilt stage is checked with structural and thermal Finite element analysis. The load capacity of the system is 150Kg and the system is compact that the size is 400㎜ × 400㎜ with the system height of 40㎜. It provides 50㎚ positioning repeatability over total range of 160㎛ along z-direction.
Also a workpiece set up must be satisfied with sub-micron position accuracy.
So stiffness of a setup device and precise positioning control are important in this process.
Also a workpiece setup in micro pattern machining is very important process because of flatness of the mold surface directly effect on final injection molding product.
In this study, a new type of a 3-DOF (Z-translation, Pitch, Roll motion) precise tilt stage for a heavy load and large surface workpiece setup has been developed. It uses Piezo actuators and flexible guides to make precision motion.
A modeling of the tilt stage is checked with structural and thermal Finite element analysis. The load capacity of the system is 150Kg and the system is compact that the size is 400㎜ × 400㎜ with the system height of 40㎜. It provides 50㎚ positioning repeatability over total range of 160㎛ along z-direction.
목차
Abstract
1. 서론
2. 연구 분석
3. 구동부 설계
4. FEM 해석
5. 실험 및 결과
후기
참고문헌
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