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한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2004 춘계학술대회 논문집
발행연도
2004.4
수록면
445 - 448 (4page)

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Linear motor is very rapidly substituted for rotary motor and ball screw for precision positioning applications because of its characteristics such as high speed, no backlash and simplicities. A precision positioning system which is composed of linear motion(LM) guide and linear motor is widely used since it has easy controllable property but this system has low accuracy problem caused by friction of the LM guide. In this study, a scanning type XY stage is manufactured and some experiments is performed to improve the accuracy of the stage.
#linear motor scanning type #moving accuracy #repeatability #simultaneous control

목차

Abstract
1. 서론
2. 고속 저중심 리니어모터 스테이지의 제작
3. XY stage의 정밀도 향상 실험
4. 결론
참고문헌

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