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This paper describes a piezoelectric pump using the silicon diaphragm with aluminum plate and spring. The piezoelectric pump uses a hinge-lever mechanism to amplify the displacement of multilayered PZT actuator. No-load flow rate and load characteristic of fabricated piezoelectric pump were tested. The fabricated piezoelectric pump of 80 ㎜ diameter and 65 ㎜ length achieves maximum flow rate and output pressure of 790 ㎖/min and 9.7 kPa, respectively, at an applied voltage of 100 V and operating frequency of 6 ㎐. Future works will focus on the application of the liquid cooling system for heat rejection of high power electronic devices existing in computers and fuel cell etc.

목차

Abstract
1. 서론
2. 펌프 구동부의 설계
3. 펌핑 챔버의 설계
4. 펌프 제작 및 성능실험
5. 결론
참고 문헌

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