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This research aims at designing a diaphragm made of SUS316L stainless steel for ultra high pressure sensors and eval- uating its performance with a PZT driven deformation tester instead of high pressure chamber testing up to 100 MPa. Finite element method analysis indicates that the optimum thickness of a flat diaphragm is 1.5 mm not only to secure safety of sensors up to 100 MPa but also to enhance displacement measuring sensitivity. For this thickness, the maximum dis- placement at the center of the diaphragm is 5.3 µm. The PZT actuator must offer a force of 1,669 N to create a pressure of 100 MPa at the diaphragm surface in order to obtain a displacement of 5.3 µm. The performance evaluation by the PZT driven tester demonstrates nearly the same results as the same results as the sensors tested in the ultra high pressure chamber.
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김성용 / 2017 / 3D 프린팅을 활용한 탄소 나노 튜브 전왜성 복합소재 기반 압력 센서 개발 연구 / 대한기계학회논문집 A 41(3):187~192
김재민 / 2003 / 과부하 방지용 마이크로머시닝 세라믹 박막형 압력센서의 제작과 그 특성 / 센서학회지 12(6):1~204
김미목 / 2004 / 고온용 실리콘 압력센서 개발 / 센서학회지 13(3):175~181
B. K. Ju / 1994 / Formation of Silicon Diaphragm Using Silicon-Wafer Direct bonding / Electrochemical Etch-stopping and Its Application to Silicon pressure Sensor Fabrication / J. Sens. Sci. Technol 3(3):45~53
이효렬 / 2016 / 구조 안전성을 고려한 수소 연료 전지차 용기 밸브의 솔레노이드 액추에이터 설계 / 한국생산제조학회지 25(3):157~163
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B. K. Ju / 1994 / Formation of Silicon Diaphragm Using Silicon-Wafer Direct bonding / Electrochemical Etch-stopping and Its Application to Silicon pressure Sensor Fabrication / J. Sens. Sci. Technol 3(3):45~53
이효렬 / 2016 / 구조 안전성을 고려한 수소 연료 전지차 용기 밸브의 솔레노이드 액추에이터 설계 / 한국생산제조학회지 25(3):157~163
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