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한국동력기계공학회 한국동력기계공학회 학술대회 논문집 2005年度 秋季學術大會 論文集
발행연도
2005.12
수록면
294 - 299 (6page)

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We have investigated the fabrication of Si nanoparticles and C<SUB>60</SUB> thin films by pulsed laser ablation. By Atomic Force Microscopy(AFM), the laser-deposited C<SUB>60</SUB> thin film was verified to have surface far smoother than the surfaces of films produced by the conventional evaporation method. The Si deposited at a He atmosphere of 0.2 Torr was with about 60Å height of the Si nanoparticles, suggesting that it was uniformly deposited. We observed visible green emissions spectra in the Si/C<SUB>60</SUB> multilayer films after laser annealing. It is considered that this green emissions is occurred from SiC particles, which is produced reaction of Si nanoparticles with C<SUB>60</SUB> by laser annealing.
#C₆₀ #Si nanoparticles(실리콘 초미립자) #pulsed laser ablation #thin film(박막) #green emissions(녹색발광) #photoluminescence

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험
3. 결과 및 고찰
4. 결론
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