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대한기계학회 대한기계학회 논문집 A권 대한기계학회논문집 A권 제32권 제9호
발행연도
2008.9
수록면
754 - 760 (7page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2008

이광자 흡수 광환원 공정을 이용한 마이크로 금속형상 제작의 정밀화에 관한 연구
손용 ,  임태우 ,  양동열 외 5명 대한기계학회 논문집 A권 2008.09 학술저널

2007

Poly(4-styrenesulfonique acid) 혼합 금속 이온 수용액의 이광자 흡수 광환원 효율 개선에 관한 연구
손용 ,  임태우 ,  양동열 외 5명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2007.11 학술대회자료
이광자 흡수 광환원 공정을 이용한 정밀 금속 패턴 제작에 대한 연구
손용 ,  임태우 ,  양동열 외 5명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2007.06 학술대회자료

초록· 키워드

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A two-photon induced photoreduction process suggests a possibility for fabricating complicated metallic microstructures which can be applied to 3-D micro-circuits and optical devices, etc. The process employs the photoreduction of silver ions in a metallic solution which is composed of metallic salt (AgNO₃) and watersoluble polymer ((poly(4-styrenesulfonique acid) 18wt. % in H₂O, (C?H?O₃S)<SUB>n</SUB>)). In this process, the improvement of the resolution and the uniformity of fabricated metallic structures are important issues. To address these problems, continuous forming window (CFW) is obtained from a parametric study on the conditions of laser power and scanning velocity and the direct seed generation (DSG) method is proposed. Silver nano particles are uniformly generated in a metallic solution through the DSG method, which enables the decrease of a laser power to trigger the photoreduction of silver ions as well as the increase of metal contents in a metallic solution. So the two-photon induced photoreduction property of a metallic solution is improved. Through this work, precise silver patterns are fabricated with a minimum line width of 400 ㎚.
#Two-photon Induced Photoreduction(이광자 흡수 광환원 현상) #Femtosecond Laser(펨토초 레이저) #Metallic Microstructures(금속 마이크로 구조물)

목차

Abstract
1. 서론
2. 이광자 흡수 광환원 공정
3. 이광자 흡수 광환원 공정변수 분석 및 균일 제작조건 도출
4. 초음파 가진을 이용한 금속나노입자 생성을 통한 금속형상 제작 정밀화
5. 금속형상 제작 예제
6. 결론
후기
참고문헌

참고문헌 (17)

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1. [학술지(정기간행물)] - Genack, A.Z. / 1991 / Observation of Photon Localization in a Three-Dimensional Disordered System / Phys. Rev. Lett 66 (16) : 2064 ~ 2067 google schola 2. [학술지(정기간행물)] - Sigalas, M.M. / 1995 / Metallic Photonic Band-Gap Materials / Phys. Rev. B 52 (16) : 11744 ~ 11751 google schola 3. [학술지(정기간행물)] - Pendry, J.B. / 2000 / Negative Refraction Makes a Perfect Lens / Phys. Rev. Lett 85 (18) : 3966 ~ 3969 google schola 4. [학술지(정기간행물)] - Kawata, S. / 2001 / Finer Features for Functional Microdevices / Nature 412 (16) : 697 ~ 698 google schola 5. [학술지(정기간행물)] - Serbin, J. / 2003 / Femtosecond Laser-Induced Two-Photon Polymerization of Inorganic Organic Hybrid Materials for Applications in Photonics / Opt. Lett 28 (5) : 301 ~ 303 google schola

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