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한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2007년도 춘계 학술발표회 초록집
발행연도
2007.4
수록면
51 - 54 (4page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2007

투명 폴리카보네이트 보호코팅을 위한 산화알루미늄 박막
김훈 ,  남경희 ,  장동수 외 1명 한국표면공학회지 2007.08 학술저널
투명 폴리카보네이트 보호코팅을 위한 산화알루미늄 박막
김훈 ,  남경희 ,  장동수 외 1명 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2007.04 학술대회자료

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타겟 전압 제어를 통한 반응성 스퍼터링 방법과 유도결합 플라즈마(ICP: inductively coupled plasma)를 통해 산화알루미늄 박막을 증착하였다. 폴리차보네이트 기판과 산화알루미늄 박막사이의 접착력은 플라즈마 표면처리 하여 향상시켰다. 박막 특성은 ICP power 변화에 대한 경도, 구조, 밀도변화, 투과율, 증착속도, 표면 거칠기 및 잔류응력을 조사하여 보호코팅으로서 성능을 평가하였다.

목차

초록
1. 서론
2. 실험방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
감사의 글
참고문헌

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