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이용수
1. 서론
2. 실험방법
3. 결과 및 토의
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D. C. 마그네트론 스퍼터링에 의한 증착조건이 TiN다층박막의 밀착력에 미치는 영향
한국표면공학회지
1996 .08
표면전처리가 반응성 스퍼터링법으로 제조한 TiN 코팅층의 밀착력에 미치는 영향
한국표면공학회지
1993 .10
D.C. 마그네트론 스파터링법에 의하여 증착된 TiN 다층 박막의 특성과 밀착력에 대하여
한국표면공학회지
1997 .06
Hard Coating 응용을 위한 DC 마그네트론 스퍼터링 방법을 이용하여 증착한 TiN 박막의 특성에 대한 연구
전기전자재료학회논문지
2008 .01
DC Magnetron Sputtering 법으로 성장된 TiN 박막의 미세구조 특성평가
한국재료학회 학술발표대회
2004 .01
고밀도 플라즈마 반응성 DC 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 TiNx 박막의 특성 연구
한국소성가공학회 학술대회 논문집
2011 .05
DC 마그네트론 스퍼터링에 의해 증착된 알루미늄 박막의 특성 ( The Characteristics of Aluminum Thin Films Deposited by DC Magnetron Sputtering )
대한전자공학회 학술대회
1996 .01
DC 마그네트론 스퍼터링에 의해 증착된 알루미늄 박막의 특성 ( The Characteristics of Aluminum Thin Films Deposited by DC Magnetron Sputtering )
대한전자공학회 학술대회
1995 .01
DC Magnetron Sputtering법으로 제작한 TixN박막의 밀착력에 미치는 코팅조건의 영향
한국표면공학회지
1998 .02
마그네트론 스퍼터링법을 이용한 Indium-Tin Oxide 박막의 제작과 그 특성에 관한 연구
Journal of Advanced Marine Engineering and Technology (JAMET)
2000 .11
DC Magnetron Sputtering법으로 제작한 TixN박막의 밀착력에 미치는 첨가원소(C, H, O)의 영향
한국표면공학회지
1998 .06
DC 반응성 마그네트론 스퍼터링법으로 TiN/Al, TiCN/Al 박막의 물성 평가
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2012 .11
반응성 마그네트론 스퍼터 이온 플레이팅법으로 증착된 TiN 박막의 접착력 및 마모 특성
한국재료학회 학술발표대회
1996 .01
DC 마그네트론 스퍼터링에 의한 보론카바이드 박막의 제조
한국재료학회 학술발표대회
2003 .01
유도결합 플라즈마 스퍼터링법을 이용한 상온에서의 TiN막의 증착에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2001 .06
바이어스 전압과 Duty 변화에 따른 펄스 DC 마그네트론 TiN막의 결정배향성 및 미세구조 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2009 .05
TiN코팅층의 색상과 구조에 미치는 스퍼터링 조건의 영향
한국표면공학회 학술발표회 초록집
1992 .10
DC magnetron sputtering 방법으로 형성한 Indium-Tin-Oxide(ITO) 박막의 특성 연구
한국정보통신학회논문지
2006 .03
DC 스퍼터링과 HIPIMS로 제조한 TiN 박막의 특성 비교
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2016 .11
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