DEPOSITION OF A-SIC : H FILMS ON AN UNHEATED SI SUBSTRATE BY LOW FREQUENCY (50㎐) PLASMA Cvd

M. Shimozuma ,  K. Iba ,  agi 외 5명

한국표면공학회지

1996 .12

PLASMA ASSISTED DEPOSITION OF $SiO_2$ FILMS

Falcony ,  C. ,  O 외 5명

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

LOW TEMPERATURE DEPOSITION OFSIO_x FILMS BY PLASMA-ENHANCED CVD USING 100 ㎑ GENERATOR

Nobuyuki Kakinoki ,  Takenobu Suzuki ,  Osamu Takai

한국표면공학회지

1996 .12

($Ar+N_2$)분위기 중에 제작된 Fe-B-Si-N 합금 박막의 연자기적 성질

박지종 ,  김종오

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

Polymerized Organic Thin Films and Comparison on their Physical and Electrochemical Properties

S.-H. Cho ,  Y.-J. You ,  J.-G. Kim 외 1명

한국표면공학회지

2002 .02

Deposition Profile Control of Plasma CVD Films on Nano-patterned Substrates

Masaha ,  u Shi ,  atani

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

Plasma-Induced Subsurface Reactions in Plasma CVD Process

Hi ,  oshi Fujiyama ,  Masano 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

Characterization of Silicon Oxynitride Film by Plasma CVD

Yung Kwon Sung

KITE JOURNAL OF ELECTRONICS ENGINEERING

1992 .01

Deposition and in-situ Plasma Doping of Plasma-Polymerized Thiophene Films Using PECVD

Tae Wook Kim ,  Jung Hyun Lee ,  Ji Woong Back 외 2명

Macromolecular Research

2009 .01

EFFECTS OF SUBSTRATE TEMPERATURE ON PROPERTIES OF FLUORINE CONTAINED SILICON OXIDE FILMS PREPARED BY MICROWAVE PLASMA-ENHANCED CVD

Nobuhisa Sugimoto ,  Atsushi Hozumi ,  Osamu Takai

한국표면공학회지

1996 .10

PLASMA - POLYMERIZED GAS SEPARATION MEMBRANE (2)

류재철 ,  김홍수 ,  박수영 외 2명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

1992 .04

PLASMA - POLYMERIZED GAS SEPARATION MEMBRANE (1)

김흥수 ,  이기풍 ,  박수영 외 1명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

1991 .04

Organic Thin Film Transistors with Gate Dielectrics of Plasma Polymerized Styrene and Vinyl Acetate Thin Films

임재성 ,  신백균 ,  이붕주

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2015 .01

Diamond Smooth Film Deposition by AC Discharged Plasma CVD

Sie Young Choi ,  Byung Ki Sohn

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1991 .01

Diamond Smooth Film Deposition by AC Discharged Plasma CVD

Sie-Young Choi ,  Byung-Ki Sohn

ICEIC : International Conference on Electronics, Informations and Communications

1991 .08

Characterization of the ultra thin films of silicon oxynitride deposited by plasma-assisted $N_2O$ oxidation for thin film transistors

Hwang ,  Sung-Hyun ,  Jung 외 19명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2006 .01

Control of plasma CVD films containing group IV nanoparticles

Masaha ,  u Shi ,  atani 외 8명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

고주파 플라즈마 CVD에 의한 저 압력에서의 다이아몬드 막의 성장

具孝根 ,  朴相鉉 ,  朴在潤 외 1명

전기학회논문지 C

2001 .02

Research Trend and Future Perspective of Plasma-Assisted Health Care Technology

Hae June Lee ,  Kiwon Song

제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집

2015 .10

DC Plasma CVD 법에 의한 다이아몬드의 성장에 관한 연구

이상현 ,  예길촌 ,  백운승 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1993 .11