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한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2008 추계학술대회 논문집
발행연도
2008.10
수록면
66 - 70 (5page)

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This paper suggests method to measure that error of the precision stage is used precision process and measurement equipment by using camera optics. The laser interferometer is the most widely used sensing unit to measure the position error. It measures the positioning error from the displacement of a moving reflector in terms of the wave length. But, the wave length os affected by the variation of atmospheric temperature. Temperature variation of 1℃ results in the measuring error of 1ppm. Though laser interferometer measures position error of stage when precision stage is manufactured by us or it is used to measure stage for the nonce as a general rule, optics tooling position measurement method to suggest is possible to apply in real-time and trace an error range continually. Therefore it is able to improve capabilities of equipment by compensating an error range when operates precision process and measurement equipment in real-time. From the experiment, it is confirmed that the measuring error of the optical device can be improved from 5.8㎛ to 1㎛ by the application of the method.
#Real-time Compensation(실시간 보상) #Position Error(위치 오차) #Optical Measurement(광학적 측정) #Precision Stage(정밀 스테이지)

목차

Abstract
1. 서론
2. 이론적 배경
3. 연구 방법 및 결과
4. 실험결과에 대한 고찰
5. 결론
후기
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