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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 저널정보
- Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 Vol.30 No.6
- 발행연도
- 2013.6
- 수록면
- 607 - 614 (8page)
이용수
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In this study, effect of the sensor gain error is theoretically analyzed and simulated when mixed sequential two-prove method(MTPM) is applied for the precision measurement of straightness error of a linear motion table. According to the theoretical analysis, difference of the gain errors between two displacement sensors increases measurement error dramatically and alignment error of the straightedge is also amplified by the sensor gain difference. On the other hand, if the gain errors of the two sensors are identical, most of error terms are cancelled out and the alignment error doesn’t give any influence on the measurement error. Also the measurement error of the straightness error is minimized compared with that of the straightedge’s form error owing to close relationship between straightness error and angular motion error of the table in the error terms.
목차
1. 서론
2. 혼합축차이점법의 원리
3. 센서 게인오차에 의한 영향 모델링
4. 센서 게인오차에 의한 영향 시뮬레이션
5. 결론
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