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Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 제22권 제11호
발행연도
2005.11
수록면
135 - 141 (7page)

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초록· 키워드

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Measurement of five DOF motion errors in a ultra precision feed table was attempted in this study. Yaw and pitch error were measured by using a laser interferometer and roll error was measured by using the reversal method. Linear motion errors in the vertical and horizontal directions were measured by using the sequential two point method. In this case, influence of angular motion errors was compensated by using the previously measured ones by the laser interferometer and the reversal method. The capacitive type sensors and an optical straight edge were used in the reversal method and the sequential two point method. Influence of thermal deformation on sensor jig was investgated and minimized by the periodic measurement according to the variation of room temperature. Deviation of gain between sensors was also compensated using the step response data. 5 DOF motion errors of a hydrostatic table driven by the linear motor werer tested using the measurement method. In the horizontal direction, measuring accuracies for the linear and angular motion were within ±0.02㎛ and ±0.04 arcsec, respectively. In the vertical direction, they were within ±0.02㎛ and ±0.05 arcsec. From these results, it was found that the introduced measurement method was very effective to measure 5 DOF motion errors of the ultra precision feed tables.
#Five DOF motion error(5 자유도 운동오차) #Sequential two point method(축차 2 점법) #Reversal method(반전법) #Capacitive type sensor(용량형 센서) #Straight edge(측정기준법) #Hydrostatic table(유정압테이블)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 운동오차의 측정방법
3. 실험장치 및 예비실험
4. 5자유도 운동오차의 측정
5. 결론
참고문헌

참고문헌 (8)

참고문헌 신청
Osada,H , 1985. , Measurement of Straight Motion Accuracy 51 (6) : 161 ~ 167 google schola Kiyono,S., , 1995. , Profile Measurement Using Software Datums 61 (8) : 1059 ~ 1063 google schola Gao,W , 1996. , High accuracy profile measurement of a machined surface by the combined method 19 (1) : 55 ~ 64 google schola Li,C. J.,Li,S , 1996. , High-resolution error seperation technique for in-situ straightness measurement of machine tools and workpieces 6 (3) : 337 ~ 347 google schola Fung,E. H. K , 2001. , An approach to on-machine motion error measurement of a linear slide 29 : 51 ~ 62 google schola

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