E-ION

M. Roegie ,  s

Lubricants Symposium

2004 .09

신경망을 이용한 SiN 박막 표면거칠기에의 이온에너지 영향 모델링

김병환 ,  이주공

한국표면공학회지

2010 .06

실리콘窒化膜의 氣相成長과 그 電氣的 特性

成英權 ,  閔南基 ,  金承培

전기의세계

1979 .09

PECVD(Plasma enhanced chemical vapor deposition)방법에 의한 a-C:H 박막의 열처리에 관한 연구

한준희 ,  진억용

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

Deposition of Silicon Films at Low Temperature with Remote Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition ( RPECVD )

Sung Woo Lee ,  Shi Woo Rhee

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

Hydrogen and Alkali Ion Sensing Properties of Ion Implanted Silicon Nitride Thin Film

박구범

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2008 .01

PECVD 실리콘질화막에 대한 이온빔 방사효과

이상환 ,  이중환 ,  서경수 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

Study the Properties of Silicon Nitride Films prepared by High Density Plasma Chemical Vapor Deposition

Gangopadhyay ,  Utpal ,  Kim 외 16명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2003 .01

TiN증착 조건에 따른 박막의 수명증대에 대한 실험적 연구

박일수

한국마린엔지니어링학회 학술대회 논문집

2010 .10

Study of I layer deposition parameters of deposited micro-crystalline silicon by PECVD at 27.12MHz

이기세 ,  김선규 ,  김선영 외 3명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2010 .06

Surface Characteristics and Ion Release Behavior of Mg Ion Coated Dental Implant Formed by Ion Beam Assisted Deposition

Seung-Kyun Moon ,  Jae-Sung Kwon ,  Soo-Hyuk Uhm 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

TiN증착 조건에 따른 박막의 특성에 대한 실험적 연구

박일수

한국산학기술학회 논문지

2011 .11

Understanding Ion Transport in Ion-Containing Polymer Energy Materials

U Hyeok Choi

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2019 .04

Effect of deposition rates of PECVD silicon nitride films on passivation for silicon solar cells

이준성 ,  임희진 ,  권순우 외 2명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2008 .05

고 에너지 이온빔에 의한 PECVD 질화규소막 내의 수소 이탈현상에 관한 연구

이중환 ,  이상환 ,  박민 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

Low temperature plasma deposition of microcrystalline silicon films for bottom gate thin film transistors

Caba ,  ocas ,  P.Roca i 외 10명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2006 .01

이온 밀링 공정에서 가공 프로파일의 수치 해석

김흥배

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2005 .10

CO₂⁺ 이온으로 오염된 토양에 대한 Citric acid 의 제염효과

권회삼 ,  원휘준 ,  김계남 외 2명

대한환경공학회 학술발표논문집

1999 .08

아연백법 및 공침공정을 이용한 복합 중금속-시안착염 폐수의 현장처리(1)

이종철 ,  강익중

대한환경공학회지

2007 .12